1、MEMS傳感器：加速度傳感器、陀螺儀傳感器、壓力傳感器、慣性組合傳感器、聲學傳感器、氣體傳感器、溫度傳感器、溫度傳感器、光學傳感器、MEMS射頻器件、微型熱輻射傳感器、磁傳感器。
2、MEMS執行器：DMD數字微鏡器件、噴墨打印頭、生物芯片、射頻MEMS、微結構、微型揚聲器、超聲波指紋識別等。

GB/T 38341-2019  微機電系統（MEMS）技術 MEMS器件的可靠性綜合環境試驗方法
GB/T 26111 微機電系統（MEMS）技術 術語
GB 2423.1電工電子產品基本環境試驗規程 試驗A：低溫試驗方法
GB 2423.2電工電子產品基本環境試驗規程 試驗B：高溫試驗方法
GB 2423.3電工電子產品基本環境試驗規程 試驗Ca：恒定濕熱試驗方法
GB 2423.5電工電子產品基本環境規程 試驗Ea：沖擊試驗方法
GB 2423.6電工電子產品基本環境試驗規程 試驗Eb：碰撞試驗方法
GB 2423.10電工電子產品基本環境試驗規程 試驗Fc：振動（正弦）試驗方法

溫度與濕度環境可能會造成器件內部濕度提高，或者使塑料封裝等材料含水量增高，從而可能造成器件失效或者在其他載荷作用下產生失效。
MEMS器件恒定濕熱加速試驗可在器件不帶電工作的情況下確定MEMS器件在溫度、濕度環境下的可靠性，試驗對象為在一定溫度和濕度環境下工作的器件。
健明迪檢測可靠性實驗中心具備各種MEMS器件的可靠性綜合環境試驗能力，為MEMS器件提供專業的恒定濕熱加速試驗等服務。

1、溫濕度試驗箱中所有的待測器件均應達到規定的溫度、濕度。若無其他規定，試驗時間應不小于72 h。
2、試驗后立即取出器件，在標準環境中自然散熱和散濕2 h~48 h，一般濕度試驗應在48 h內完成測試，如需延長放置時間，應將樣品保存在密封袋中，可以延長至96 h.然后在標準試驗條件下進行測試。